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扫描电子显微镜+X射线能谱仪(SEM+EDS
收藏 2017-01-13
产品特点
扫描电子显微镜+X射线能谱仪(SEM+EDS)
扫描电子显微镜利用二次电子或背散射电子成像，对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察，*大放大倍数可达30万倍，同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析
测试范围：
SEM的二次电子成像分辨率约3nm
背散射电子成像分辨率约300nm
EDS成分分析的元素范围Be～U
分析深度约1μm
检测下限约1%
空间分辨率约1μm
服务项目：
各种固体材料的形貌分析
微区化学成分检测
样品成分的线分布和面分布分析
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