产品特点
X射线光电子能谱仪(XPS)+饿歇电子能谱仪(AES) XPS利用光电效应的原理,测量X射线激发出的光电子能量和计数,对样品表面几个纳米深度的范围内进行半定量的成分和化学态分析;AES利用电子激发出的俄歇电子,对表面进行微区的成分和化学态分析。测试范围:除H和He之外的所有元素分析深度约5nm(AES约3nm)检测下限约0.1%空间分辨率约30μm(AES约10nm)服务项目:各种固体表面的元素成分化学价态分子结构分析深度剖析